氧化硅比表面測試測試精度高、重現性好，具有國內*程控六通閥標定系統，動作周期小于10毫秒；并且定量管體積程控切換。測試相對誤差小于±2%；固體標樣參比法測試相對誤差小于±1.5%。

碳酸鈣比表面測試檢測精度高于流量法10倍以上；具有原位吹掃功能的 ，氣體凈化冷阱功能,使氣體純度提高10倍以上。

氧化鋯比便面測試測試范圍廣，測試精度高，測試效率高，重復性好。